Lò nung CVD dạng ống 1200°C (STGC-80-12)

Liên hệ
Còn hàng

Phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD) bằng lò ống 1200°C đề cập đến phương pháp phản ứng hóa học giữa khí hoặc hơi nước trên bề mặt chất nền để tổng hợp các lớp phủ hoặc
vật liệu nano. Đây là công nghệ được sử dụng rộng rãi nhất trong ngành công nghiệp bán dẫn để lắng đọng nhiều loại vật liệu, bao gồm nhiều loại vật liệu cách điện,
hầu hết các vật liệu kim loại và hợp kim kim loại.

Lò nung CVD dạng ống 1200°C (STGC-80-12)
Hãng: Saftherm

Xuất xứ: Trung Quốc

Đặc trưng

Vỏ lò

  1. Vỏ được làm bằng thép cacbon thấp Q235, bề mặt có khả năng chống tĩnh điện và chống ăn mòn.
  2. Khung kim loại hai lớp chắc chắn kết hợp với cấu trúc quạt cách nhiệt giúp nhiệt độ bề mặt lò thấp.
  3. Chế độ sử dụng nằm ngang, cấu trúc mở phía trên, dễ vận hành.

Vật liệu chịu nhiệt

Thiết kế cách nhiệt nhiều lớp, bao gồm sợi gốm alumina nhẹ và lớp nền bằng tấm cách nhiệt chất lượng cao, không chứa thành phần amiăng, tổn thất nhiệt thấp và tiêu thụ năng lượng thấp.

Hệ thống sưởi

  1. Dây điện trở xoắn HRE chất lượng cao được gắn chắc chắn và an toàn trên bề mặt lò, được gia nhiệt bằng bức xạ tự nhiên trong khoang lò, giúp tiết kiệm năng lượng, hiệu quả và có tuổi thọ cao.
  2. Gia nhiệt vòng bằng dây điện trở để đạt được độ đồng đều tốt trong lò nung.

Bảng điều khiển nhiệt độ

  1. Chế độ điều khiển PID và SSR, điều khiển nhiệt độ chính xác
  2. Cặp nhiệt điện niken-crom-silicon loại N tiêu chuẩn quốc tế với phạm vi đo nhiệt độ từ 0-1300℃ và tuổi thọ cao.
  3. Cửa lò được trang bị công tắc bảo vệ an toàn ngắt điện khi mở cửa.

Bộ điều khiển chương trình

  1. Bộ điều khiển tiên tiến đáp ứng các yêu cầu quy trình phức tạp.
  2. Vận hành đơn giản và trực quan, lập trình linh hoạt
  3. Có thể lập trình 30 phân đoạn chương trình cho một đường cong duy nhất
  4. Cảnh báo quá nhiệt và lỗi, bảo vệ an toàn tự động

Chức năng bầu khí quyển chân không

  1. Với mặt bích làm kín bằng thép không gỉ 304 để tạo chân không hoặc không khí trong ống lò nung.
  2. Ống làm việc bằng thủy tinh thạch anh chất lượng cao, hoặc ống làm việc bằng kim loại hay corundum cũng có thể được lựa chọn để phù hợp với các điều kiện làm việc khác nhau.
  3. Máy bơm chân không cánh quay lưỡng cực hiệu suất cao có thể đạt được độ chân không 5 Pa, và đồng hồ đo chân không kỹ thuật số có thể hiển thị độ chân không.
  4. Với bộ điều khiển mạch khí, bộ điều khiển có thể lựa chọn hệ thống điều khiển tự động MFC 1-3 chiều.

Thông số kỹ thuật

Mục

STG C - 25 -12

STG C - 40 -12

STG C - 60 -12

STG C - 80 -12

STG C - 100 -12

STG C - 120 -12

Kích thước ống

Φ25 x 800mm

Φ40 x 1000mm

Φ60 x 1000mm

Φ80 x 1000mm

Φ100 x 1000mm

Φ120 x 1000mm

Nhiệt độ tối đa

1200℃

Nhiệt độ làm việc

1100℃

Khu vực sưởi ấm

440mm

Điện áp/Công suất

220V/1.8KW

220V/1.8KW

220V/2.6KW

220V/2.6KW

220V/2.6KW

220V/5KW

Bộ phận gia nhiệt

Dây điện trở hợp kim HRE

Vật liệu buồng

Vật liệu sợi gốm alumina vô cơ đa tinh thể được điều chế bằng phương pháp lọc chân không ướt.

Vật liệu ống

Ống thạch anh

Độ chính xác nhiệt độ

±1℃

Cặp nhiệt điện

Cặp nhiệt điện loại N

Bộ điều khiển nhiệt độ

Thiết bị điều khiển nhiệt độ PID vi tính thông minh, điều khiển SCR/SSR, chức năng tự điều chỉnh tham số PID; lập trình được 4 nhóm 8 phân đoạn chương trình, chương trình gia nhiệt, chương trình giữ nhiệt, chương trình làm mát

Tốc độ gia nhiệt

Tốc độ có thể điều chỉnh tự do từ 1-25℃/phút.

Cấu trúc lò nung

Cấu trúc tích hợp điều khiển nhiệt độ lò, đóng mở lò; vỏ hai lớp, tuần hoàn không khí và cách nhiệt.

Chức năng niêm phong

Cả hai đầu ống lò đều được trang bị mặt bích kim loại bằng thép không gỉ, kết hợp với gioăng PTFE chịu nhiệt cao, có thể hoạt động trong môi trường chân không với độ chân không ≤5pa (bơm chân không cánh quay).

Hiệu suất khí quyển

Có các cửa hút và xả khí ở cả hai đầu của mặt bích. Đồng hồ đo áp suất được lắp đặt trên mặt bích kim loại. Van kim chính xác có thể điều chỉnh lượng khí hút và xả, và có thể được cấp khí bảo vệ như nitơ, argon và hydro.

An toàn thiết bị

Hệ thống điều khiển dạng mô-đun, tín hiệu cảnh báo âm thanh và ánh sáng sẽ được phát ra khi xảy ra hiện tượng quá nhiệt và đứt khớp nối trong quá trình hoạt động, và hoạt động bảo vệ sẽ được hoàn tất tự động.

Bảo vệ an toàn

Thiết bị được trang bị cầu dao tự động, sẽ tự động ngắt mạch trong trường hợp ngắn mạch hoặc rò rỉ, giúp bảo vệ an toàn cho thiết bị và người vận hành.

Vỏ lò

Gia công cắt phôi thép tấm cán nguội chất lượng cao bằng máy CNC, sau đó hàn, mài, đánh bóng, phốt phát hóa, tẩy gỉ, phun sơn tĩnh điện và phủ bột nhựa.

Giấy chứng nhận chất lượng

ISO9001 CE SGS TUV

Phụ kiện tiêu chuẩn

1. Thân lò nung 2. Bộ điều khiển nhiệt độ 3. Dây nguồn 3 mét 4. Cặp nhiệt điện 5. Sách hướng dẫn sử dụng

6. Móc lò nung 7. Một đôi găng tay chịu nhiệt cao 8. Hai nút bịt ống 9. Một bộ mặt bích làm kín

Phụ kiện tùy chọn

 1. Bơm chân không cánh quay (tùy chọn) (độ chân không ≤ 5pa) 2. Đồng hồ đo chân không kỹ thuật số (tùy chọn) (1,0×10⁵-1,0×10⁻¹pa) 3. Lưu lượng kế phao (tùy chọn) (phạm vi 60-600ml/phút) 4. Có thể kèm theo bình chứa thạch anh

Phụ kiện

1. Thân lò nung 1 bộ
2. Bộ điều khiển nhiệt độ 1
3. Dây nguồn dài 3 mét 1
4. Cặp nhiệt điện 1
5. Hướng dẫn sử dụng 1
6. Kìm kẹp nồi nấu kim loại 1
7. Găng tay chịu nhiệt độ cao  1 đôi
Công Ty TNHH Khoa Học Kỹ Thuật CSC STK: 110605337555 Vietinbank -CN Ba Đình
Liên Hệ Trực Tiếp 0988 664 592 hoặc 0968 471 604 (call, zalo, SMS) hoặc 0326 747 287 (call, zalo, SMS)
Hotline Hotline